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QJ A 903.8-1995 航天产品工艺文件管理制度 工艺总方案编制规则

作者:标准资料网 时间:2024-05-18 02:42:52  浏览:9189   来源:标准资料网
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基本信息
标准名称:航天产品工艺文件管理制度 工艺总方案编制规则
中标分类: 航空、航天 >> 航空、航天综合 >> 技术管理
ICS分类: 航空器和航天器工程 >> 航空器与航天器综合
替代情况:QJ 903.8-85
发布日期:
实施日期:
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作废日期:
出版日期:
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所属分类: 航空 航天 航空 航天综合 技术管理 航空器和航天器工程 航空器与航天器综合
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【英文标准名称】:Photovoltaicdevices-Part1:Measurementofphotovoltaiccurrent-voltagecharacteristics
【原文标准名称】:光伏器件.第1部分:光伏电流-电压特性的测量
【标准号】:IEC60904-1-2006
【标准状态】:现行
【国别】:国际
【发布日期】:2006-09
【实施或试行日期】:
【发布单位】:国际电工委员会(IX-IEC)
【起草单位】:IEC/TC82
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:特性曲线;电流;电气工程;电驱动装置;测量;模数;光电子学;光电器件;光线疗法;光伏器件;硅;太阳能电池;太阳能;太阳能量;太阳辐射暴露;规范(验收);阳光;试验;电压;电压特性
【英文主题词】:Characteristiccurves;Currents;Electriccurrent;Electricpowergeneration;Electricalengineering;Electrically-operateddevices;Measurement;Modules;Optoelectronics;Photoelectricdevices;Phototherapy;Photovoltaics;Silicon;Solarcells;Solarenergy;Solarpower;Solarradiantexposure;Specification(approval);Sunlighting;Testing;Voltage;Voltagecharacteristic
【摘要】:ThispartofIEC60904describesproceduresforthemeasurementofcurrent-voltagecharacteristicsofphotovoltaicdevicesinnaturalorsimulatedsunlight.Theseproceduresareapplicabletoasinglephotovoltaicsolarcell,asub-assemblyofphotovoltaicsolarcells,oraPVmodule.NOTE1Thisstandardmaybeapplicabletomulti-junctiontestspecimens,ifeachsub-junctiongeneratesthesameamountofcurrentasitwouldunderthereferenceAM1,5spectruminIEC60904-3.NOTE2ThisstandardmaybeapplicabletoPVdevicesdesignedforuseunderconcentratedirradiationiftheyareirradiatedusingdirectnormalirradianceandamismatchcorrectionwithrespecttoadirectnormalreferencespectrumisperformed.
【中国标准分类号】:F12
【国际标准分类号】:27_160
【页数】:23P.;A4
【正文语种】:英语


基本信息
标准名称:硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范
英文名称:Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for dissolved wafer process
中标分类: 电子元器件与信息技术 >> 微电路 >> 微电路综合
ICS分类: 电子学 >> 集成电路、微电子学
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
发布日期:2012-05-11
实施日期:2012-12-01
首发日期:2012-05-11
作废日期:
主管部门:全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
提出单位:全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
起草单位:中国电子科技集团第十三研究所、中机生产力促进中心、北京大学、中国科学院上海微系统与信息技术研究所
起草人:崔波、罗蓉、刘伟、张大成、熊斌、陈海蓉
出版社:中国标准出版社
出版日期:2012-12-01
页数:16页
适用范围

本标准规定了采用体硅溶片加工工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和工艺评价规范。
本标准适用于体硅溶片工艺的加工和质量检验。

前言

没有内容

目录

前言 Ⅰ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 工艺流程 2 4.1 体硅溶片工艺流程 2 4.2 硅片加工工艺流程 2 4.3 玻璃片加工工艺流程 3 4.4 硅-玻璃键合片工艺流程 4 5 工艺加工能力 4 6 工艺保障条件要求 4 6.1 人员要求 4 6.2 环境要求 4 6.3 设备要求 5 7 原材料要求 6 8 安全操作要求 6 8.1 用电安全 6 8.2 化学试剂 6 8.3 排废 6 9 工艺检验 6 9.1 总则 6 9.2 关键工序检验 7 9.3 最终检验 8 附录A (资料性附录) 体硅溶片关键工序检验方法 10

引用标准

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB50073—2001 洁净厂房设计规范
GB/T19022—2003 测量管理体系 测量过程和测量设备的要求
GB/T26111—2010 微机电系统(MEMS)技术 术语

所属分类: 电子元器件与信息技术 微电路 微电路综合 电子学 集成电路 微电子学

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